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無塵車間生產(chǎn)對(duì)于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對(duì)濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
無塵車間的溫濕度操縱由其生產(chǎn)工藝流程決策，但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如計(jì)量檢定室、光纖傳感器刻線室、儀器儀表生產(chǎn)制造和裝配線車間等。前兩者都為小屋子，中央空調(diào)精度(這兒關(guān)鍵指溫濕度)規(guī)定高；后二者為很大的生產(chǎn)制造車間，溫濕度精度規(guī)定較低。因此其屋子尺寸也會(huì)決策恒溫恒濕設(shè)備車間的精度。無塵車間對(duì)溫濕度的操縱決取于其生產(chǎn)工藝流程。在考慮制作工藝的標(biāo)準(zhǔn)下，還應(yīng)當(dāng)充分考慮人的舒適度。由于流汗之后，對(duì)商品將有環(huán)境污染，非常是怕鈉的半導(dǎo)體材料車間，這類車間不適合超出25度。環(huán)境濕度過高造成的難題大量。相對(duì)濕度超出55%時(shí)，冷卻循環(huán)水壁厚上面冷凝水，假如產(chǎn)生在高精密設(shè)備或電源電路中，就會(huì)造成各種各樣安全事故。相對(duì)濕度在50%易銹蝕。
無塵車間能夠分成下列好多個(gè)級(jí)別：1級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)、三十萬級(jí)、百1萬級(jí)。 每立方將低于0.5微米粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個(gè)下列，就做到了國(guó)際性無塵規(guī)范的A1級(jí)?，F(xiàn)階段運(yùn)用在射頻收發(fā)器生產(chǎn)制造的無塵規(guī)范針對(duì)塵土的規(guī)定高過A1級(jí)，那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級(jí)別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)控在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是業(yè)界別名級(jí)別中的萬級(jí)。 無塵車間詳細(xì)地址的挑選應(yīng)合乎有益生產(chǎn)制造、便捷生活、節(jié)約項(xiàng)目投資和經(jīng)營(yíng)費(fèi)用的標(biāo)準(zhǔn)。無塵車間與交通出行主干路間隔宜50米之上。
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